濕敏電阻由感濕層，電極， 絕緣體組成，濕敏電阻主要包括氯化鋰濕敏電阻，碳濕敏電阻，氧化物濕敏電阻。氯化鋰濕敏電阻隨濕度上升而電阻減小，缺點為測試范圍小，特性重復性不好，受溫度影響大。

碳濕敏電阻缺點為低溫靈敏度低，阻值受溫度影響大，由老化特性， 較少使用。氧化物濕敏電阻性能較優越，可長期使用，溫度影響小，阻值與濕度變化呈線性關系。有氧化錫，鎳鐵酸鹽，等材料。

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